主题：代尔夫特理工大学在硅基微机电系统领域的研究进展

主讲人：Paddy French  教授

时间：2024年11月21日(星期四)下午4:00-5:00

地点：厚德楼A809

主办单位：电子科技大学中山学院888000aa赌船-www.888000aa.com-官网

报告人概况：

       Paddy French 是代尔夫特理工大学教授，分别于1981年和1982年获得英国南安普顿大学数学学士学位和电子学硕士学位。1986年，他在南安普顿大学获得博士学位，研究方向是多晶硅中的压阻效应。在荷兰代尔夫特大学担任博士后18个月后，于1988年移居日本，在日产汽车企业的中央工程实验室从事了3年的汽车传感器研究。1991 年 5 月，他回到代尔夫特大学，成为电子仪器实验室的一名工作人员。1999 年，他被授予安东尼-范-列伊文虎克（Antoni van Leeuwenhoek）教席，并于 2002 年至 2012 年担任电子仪器实验室主任。2019 年，他调入生物医学电子学组。2001-2018 年期间，他担任Sensors and Actuators A主编和Sensors and Actuators A&B总编辑。他参与和组织了许多国际会议，包括2004年IEEE MEMS 联席主席、2007-2009年IEEE Sensors项目主席和2020年IEEE Sensors联席主席。他是电气与电子工程师学会研究员和IAAM研究员。他的研究方向是集成传感器系统、微机械加工，特别是医疗应用。

       代尔夫特理工大学始建于1842年，位于荷兰代尔夫特市，前身为荷兰王国皇家学院，欧洲顶尖工科联盟IDEA联盟战略成员， 2024年QS世界大学排名第47名，2024年泰晤士高等教育世界大学排名第48名。

报告内容摘要：

       本次讲座重点先容荷兰代尔夫特理工大学（TU Delft）在硅基微机电系统领域的研究情况。1970年，Simon Middelhoek教授领导的实验室开启了荷兰代尔夫特理工大学硅基微机电系统领域研究工作。借助成熟的硅工艺，实验室在集成传感器系统方面取得长足发展，并逐渐成为该领域破局影响力的顶级实验室。1988年，实验室建成百级超净间，有力支撑了传感器和微机电系统领域的广泛研究，在基本原理、制造技术和产品应用方面取得重要成果。特别是与工业界的紧密合作，催生成立企业，并与许多医院合作开发传感器系统，促成了生物电子学实验室的成立。本次讲座也将展示代尔夫特理工大学在硅基微机电系统领域的近期进展和未来发展方向。